인피니티시마, Metron3D 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템의 성능 고도화 프로젝트 착수 G NewsWire_semic (34.♡.82.70) 0 15 07.23 11:45 https://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=1015442&sourceType=rss + 2 http://api.newswire.co.kr/rss/industry/607 + 2 인피니티시마(Infinitesima) 는 ASML을 비롯한 파트너사들과 함께 3년에 걸친 공동 개발 프로젝트에 착수한다고 발표했다. 이번 프로젝트에서 Metron3D 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템은 하이브리드 본딩, 고개구율(high-NA) EUV 리소그래피, 그리고 상보성 전계...
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